Plasma synthesis and etching of electronic materials - symposium held November 27-30, 1984, Boston, Massachusetts, U.S.A
- Författare
- (Editors R.P.H. Chang, B. Abeles.)
- Genre
- Konferenspublikation
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| Materials research Society | cop. 1985 | USA, Pittsburgh, Pa | xv, 522 sidor. ill. |